最小检知量

SO₂+SOF₂、H₂S、HF

≤0.1µL/L

CO/H₂（H₂为选配）

≤0.5µL/L

纯度

≤0.03%

露点:阻容

≤±0.1℃

精度

SO₂+SOF₂、H₂S、HF

测量值≤10µL/L时,误差≤±0.5µL/L

测量值＞10µL/L时,误差≤±5%

CO/H₂

测量值≤50µL/L时,误差≤±2.0µL/L

测量值＞50µL/L时,误差≤±4%

纯度

≤±0.1 %（W/W）

露点:阻容

≤±1℃

重 复 性

SO₂ +SOF₂、H₂S、HF

测量值≤10µL/L时,≤0.2µL/L

测量值＞10µL/L时,≤2%

CO/H₂

测量值≤50µL/L时,≤1.5µL/L

测量值＞50µL/L时,≤3%

纯度

≤0.05%（W/W）

露点：阻容

＜1%（RSD）

量  程

SO₂ +SOF₂

0～100µL/L,0～2000µL/L

H₂S

0～100µL/L

HF

0～20µL/L

CO/H₂

0～1000µL/L

纯度

0～100%

露点:阻容

-80℃～＋20℃

气体流量

分解物、纯度

0.2±5%L/Min  

水分

0.5±10%L/Min